전북대 전기공학과 민주화 박사, 미국 국제학술대회 ‘최우수’ 논문상 수상

반도체 공정 플라즈마 장비 매칭 성능 향상 방안 ‘호평’

▲사진 왼쪽 민주화박사 오른쪽 서용석 교수  ⓒ전북대 

전북대학교  전기공학 전공 민주화 박사(올 2월 졸업·지도교수 서용석)가 최근 미국 디트로이트에서 열린 국제학술대회인 ‘IEEE Energy Conversion Congress & Expo 2022(ECCE 2022)’에서 산업응용 논문지 산업전력변환 분과 최우수 논문상을 수상했다.

이번 국제학술대회는 국제전기전자학회(IEEE)가 주관하는 전기 및 전기동력 에너지변환 분야의 최대 규모의 국제학회다. 

올해 856편의 전세계 연구자들의 연구 성과를 교류하는 자리로 첨단 학술 연구 및 산업체 응용 기술 성과를 발표했다.

민주화 박사는 작년 ECCE 2021 학술대회에서 반도체 공정 플라즈마 장비의 임피던스 매칭 성능을 대폭 향상 시킬 수 있는 전자식 가변 캐패시터를 발표해 호평을 받았다.

최신 SiC 전력용 반도체 소자 기반의 스위칭 회로 방식을 활용해 기존의 기계식 임피던스 매칭 장비의 동작 시간을 약 1000배 이상 단축시킬 수 있음을 연구로 입증했다. 단축된 임피던스 매칭 동작 시간을 통해 반도체 산업분야에서 플라즈마 공정 시간의 단축과 생산성 향상에 기여할 것으로 기대된다.

발표된 기술은 국제전기전자학회가 주관하는 논문지인 산업응용 논문지(Transactions on Industry Applications)에 게재되었고 산업전력변환분과의 2021년 최우수 논문으로 채택돼 이번 ECCE 2022에서 수상하게 됐다.

지도교수인 서용석 교수(전기공학과)는 "전세계 전력전자분야 학계와 산업계가 참여하는 오랜 전통의 산업응용논문지에서 핵심 분야인 산업전력변환분과의 최우수 논문으로 채택된 것은 매우 의미있는 성과다" 며 "해당 기술의 실질적 산업체 응용을 위해 연구실 학생들과 함께 지속적인 노력을 기울이겠다" 고 말했다.

이번 연구는 과학기술정보통신부가 지원하는 한국연구재단 중견연구자지원사업의 지원을 받아 수행됐다.