국립순천대, 나노 단위 정밀 가공·고해상도 분석장비 등 2종 도입

연구 역량 강화·실험실습 교육 품질 향상 기대

▲국립순천대 공동실험실습관 FIB-SEM(좌)과 FE-TEM(우) 도입ⓒ국립순천대

국립순천대학교(총장 이병운) 공동실험실습관은 나노 단위 정밀 가공부터 원자 수준 분석까지 가능한 첨단 장비를 새롭게 도입, 정밀과학 연구의 지평을 넓히고 있다고 19일 밝혔다.

도입 장비는 FIB-SEM(Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope)과 FE-TEM(Field Emission-Transmission Electron Microscope) 등 2종이다.

이번 장비 구축은 첨단소재, 반도체, 나노기술, 생명과학 등 다양한 분야의 정밀 가공 및 고해상도 분석 수요에 대응하기 위한 것으로, 연구 역량 강화는 물론 실험실습 교육의 품질 향상에도 크게 기여할 것으로 기대된다.

FIB-SEM은 집속 이온빔을 시료 표면에 주사해 발생하는 전자 및 이온 신호를 분석함으로써 시료의 표면 및 단면을 고해상도로 관찰할 수 있는 장비다. 나노 단위의 정밀 가공이 가능하며 특히 반도체 단면 가공, 3차원 구조 분석, TEM 시편 제작 등 고정밀 분석에 널리 활용된다.

FE-TEM은 전자빔을 시료에 투과시켜 원자 수준의 미세 구조를 관찰할 수 있는 고성능 장비로, 재료의 내부 구조, 결정 구조, 성분 분석(EDS 연계) 등 다양한 고정밀 분석에 필수적인 도구로 평가된다. 과학 및 공학 분야의 기초·응용 연구에 폭넓게 활용 가능하다.

이민아 국립순천대 공동실험실습관장은 "이번 첨단 장비 도입을 통해 교내외 연구자와 산학협력 기업, 외부 연구기관의 다양한 분석 수요에 효과적으로 대응할 수 있는 정밀 연구 기반을 마련하게 됐다"며 "앞으로도 고성능 분석 장비 인프라를 지속적으로 확충하고, 학생 실습 교육에도 적극 활용하여 지역 연구 거점의 역할을 더욱 강화해 나가겠다"고 밝혔다.